Pat

J-GLOBAL ID：200903013748927786

光ビーム操縦装置及びその製造方法

Inventor： グレゴリィ エイ.マゲル
Applicant, Patent owner： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
Agent (1)： 浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993029563
Publication number (International publication number)：1993346546
Application date： Jan. 04, 1993
Publication date： Dec. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】反射薄膜を電気的に変形することにより、レンズ或いはミラーの移行或いは回転の運動を不要とする。【構成】 変形可能な薄膜型の空間光変調器(10)は、修正され、ビーム操縦応用のためにレンズ(16)と共に使用される。反射薄膜(11)は、エネルギーで満たされる電極に依存して、湾曲の異なる中心をもつように、一或いはそれ以上の多数の下側にある電極(14)により変形される。入ってくるビームは、薄膜上に入射してそれから反射される。レンズ(16)は、ビームが、入ってくるビームとの関連にて所望の方向に反射されるように、薄膜から反射される光を平行にする。

Claim (excerpt)：

反射上面を有する薄膜であって、柔軟性のある電気的導電材料から作られた薄膜と、前記薄膜の下側にある電極回路であって、前記薄膜が前記電極回路に向けて変形するように、前記薄膜下にて間隔を付与されてなる電極回路と、前記電極回路の上方にて前記薄膜を支持する各スペーサと、前記薄膜の上方にて間隔を付与して位置するレンズであって、前記薄膜から反射される光のビームを平行にするために適当な強度を有するレンズとからなる光ビーム操縦装置。