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J-GLOBAL ID：200903013751248032
欠陥検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993295606
Publication number (International publication number)：1995147309
Application date： Nov. 25, 1993
Publication date： Jun. 06, 1995
Summary：
【要約】【目的】 参照パターンデータと被検査パターンデータとの1画素未満までの位置合わせを行った後、両データ間の誤差を検出してパターンの欠陥検査を行う。【構成】 参照多値データ出力装置1と、撮像装置2と、遅延装置3と、整数ピクセル補間回路4と、副ピクセル補間回路5と、誤差検出回路6と、比較回路7と、記憶装置8とを備える欠陥検査装置において、整数ピクセル補間回路4によって参照パターンデータと被検査パターンデータとの1画素以上の位置ずれが調整された後、副ピクセル補間回路5によって1画素未満の位置ずれが調整される。位置ずれが調整された両データは誤差検出回路6に入力されて両データ間の誤差が検出された後、比較回路に入力されて欠陥があるか否かが判定され、その結果が記憶装置8に格納される。これにより、1画素未満の微小な欠陥が検出できる。
Claim (excerpt)：
設計情報に基づいて参照多値データ画像を表す参照パターンデータを出力する参照パターンデータ出力手段と、前記設計情報に基づいて被検査物上に形成された被検査パターンを撮像し、被検査多値データ画像を表す被検査パターンデータを出力する被検査パターンデータ出力手段と、前記参照多値データ画像に含まれる参照パターンを異なる位置に1画素未満ずらして成る修正多値画像を表す修正パターンデータを、前記参照パターンデータから複数種類作成する修正パターンデータ作成手段と、該修正パターンデータと前記被検査パターンデータとに基づいて、前記修正多値画像と前記被検査多値データ画像との相関関係をそれぞれ検出する相関検出手段と、該相関検出の検出結果に基づいて、前記被検査多値データ画像との相関が最も高い修正多値画像を表す修正パターンデータを選択する選択手段と、該選択手段により選択された修正パターンデータと前記被検査パターンデータとに基づいて前記被検査パターンデータの欠陥を検出する欠陥検出手段と、を有することを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (4)：
H01L 21/66
, G01B 11/24
, G06T 7/00
, H05K 3/00
