大気圧プラズマを利用した洗浄装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：越智俊郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004350692
Publication number (International publication number)：2006159009
Application date： Dec. 03, 2004
Publication date： Jun. 22, 2006
Summary：

【課題】装置の低コスト化と汎用性を持たせることを前提とし、プラズマ発生用ガスの消費量を少なくできると共に、洗浄効果を大きくできる大気圧プラズマを利用した洗浄装置を提供する。【解決手段】対向する電極間P1,P2にプラズマ発生用のガスを送り込む入口Eと、発生したプラズマを送り出す出口Dとを有する大気圧プラズマ発生室10Kの前記出口近くにおいて、送り出されるプラズマ流速よりも高速に噴射でき、前記ガスと同一又は異なる種類の噴射用ガスを噴射させる噴射装置12を具備するよう構成する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

対向する電極間にプラズマ発生用のガスを送り込む入口と、発生したプラズマを送り出す出口とを有する大気圧プラズマ発生室の前記出口近くにおいて、送り出されるプラズマ流速よりも高速に噴射でき、前記ガスと同一又は異なる種類のガスを噴射させる噴射装置を具備することを特徴とする大気圧プラズマを利用した洗浄装置。

IPC (2)：

B08B 7/00 , H01L 21/304

FI (2)：

B08B7/00 , H01L21/304 645C

F-Term (4)：

3B116AA02 , 3B116AB01 , 3B116BB21 , 3B116BC01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

液晶ディスプレイ用ガラス基板の洗浄方法および前処理方法ならびに大気圧プラズマ発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-296521 Applicant：エア・ウォーター株式会社

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