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J-GLOBAL ID：200903013765941695

透過型フォトン走査型トンネル顕微鏡

Inventor： 大沢 日佐雄
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992165726
Publication number (International publication number)：1994003595
Application date： Jun. 24, 1992
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：

【要約】【目的】透過型フォトン走査型顕微鏡を用いた試料の検査を簡略化する。【構成】微小な検査領域の複数を同時に照射する光照射手段(1)、前記領域のそれぞれについて発生する電場を検知する複数のプローブ(3)、複数のプローブ(3)を同時に走査させる走査手段(4)、走査手段(4)の制御手段(6)、プローブ(3) で検知した電場を電気信号に変換する複数の検出手段(5) 、検出手段(5)からの情報と制御手段(6)からの位置情報に基づき画像を合成し、表示する画像表示手段(8)からなる透過型フォトン走査型顕微鏡で試料の検査をする。

Claim (excerpt)：

微小な検査領域の複数を同時に照射する光照射手段、前記領域のそれぞれについて発生する電場をそれぞれ検知する複数のプローブ、複数の前記プローブを同時に走査させる走査手段、前記走査手段の位置制御手段、前記プローブで検知した電場を電気信号に変換する複数の検出手段、前記検出手段からの情報と前記位置制御手段からの位置情報に基づき画像を合成し表示する画像表示手段からなる透過型フォトン走査型トンネル顕微鏡。