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J-GLOBAL ID：200903013786422558

化学量論的組成の評価方法

Inventor： 小川 貴史
Applicant, Patent owner： 住友金属鉱山株式会社
Agent (1)： 上田 章三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992198229
Publication number (International publication number)：1994043121
Application date： Jul. 24, 1992
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 二元系結晶の化学量論比からのズレを高精度で測定できかつ通常のX線回折装置を用いて容易に実施できる化学量論的組成の評価方法を提供する。【構成】 GaAs結晶をくさび状にカットして結晶試料1とし、この準禁制反射面に対しスリット3を介してX線ビーム2を入射させその回折X線ビーム2’を乾板に記録し、記録されたペンデル縞4の間隔Lから数式(1)に基づき準禁制反射面の構造因子Fhを求め、このFhから数式(2)に基づいてGaAs結晶の化学量論的組成を評価することを特徴とする。【数1】【数2】

Claim (excerpt)：

X線回折を用いた準禁制反射により二元系結晶の化学量論的組成を評価する方法において、測定対象である二元系結晶をくさび状にカットし、この二元系結晶の準禁制反射面に対しスリットを介してX線ビームを入射させ、かつ、その回折X線ビームをこのX線ビームの出射側に配置された記録媒体に入射させてそのペンデル縞を記録すると共に、このペンデル縞の間隔を測定しその値Lから下記数式(1)に基づき準禁制反射面の構造因子Fhを求め、この構造因子の値Fhから下記数式(2)に基づいて二元系結晶の化学量論的組成を評価することを特徴とする化学量論的組成の評価方法。【数1】但し、Lはペンデル縞の中心の間隔、Fhは準禁制反射面の構造因子、mは電子の質量、cは光速、eは電荷量、vは結晶の単位格子の体積、λはX線の波長、及び、Cは偏光因子を示す。【数2】但し、Fhは準禁制反射面の構造因子、CA、CBはそれぞれ上記準禁制反射面におけるA原子、B原子の濃度比を示し、また、fA、fBはそれぞれA原子、B原子の散乱因子を示す。