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J-GLOBAL ID：200903013812990853

微小力または微小電流検出用のプローブ及びその製造方法

Inventor： 島田 康弘 ,  紫藤 俊一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997191851
Publication number (International publication number)：1999023586
Application date： Jul. 02, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】探針が試料に対し常に1つの頂点で接触して、高解像度が得られ、単位面積当たりのプローブ本数を多くして、生産性を向上させる。【解決手段】基板に支持された弾性体の自由端部に探針を搭載し、探針が2つの頂点を有し、その一方の頂点が弾性体の表面を基準として他方の頂点よりも高く、2つの頂点を結ぶ線分の方向が弾性体の長さ方向とほぼ直交する。製造方法は、微小力または微小電流検出用のプローブの製造方法であって、面方位(100)から(111)方向に30°以内の角度で傾いた方位を主面とするシリコン単結晶基板からなる第1基板の表面に結晶異方性エッチングにより2つの頂点を有する凹部を形成し、第1基板の該凹部を含む基板上に剥離層を介し形成した探針を、第2基板上に形成した弾性体上の接合層に、2つの頂点を結ぶ線分の方向が弾性体の長さ方向とほぼ直交するように転写する。

Claim (excerpt)：

基板に支持された弾性体の自由端部に探針を搭載した微小力または微小電流検出用のプローブであって、該探針が2つの頂点を有し、その一方の頂点が該弾性体の表面を基準として他方の頂点よりも高く、かつ、該2つの頂点を結ぶ線分の方向が該弾性体の長さ方向とほぼ直交していることを特徴とするプローブ。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G11B 5/00 ,  G11B 9/00

FI (5)：

G01N 37/00 C ,  G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  G11B 5/00 D ,  G11B 9/00