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J-GLOBAL ID：200903013815176855

薄膜の物理的性質を検査する方法

Inventor： ヴオルフガング、クノル ,  ハーラルト、クノブロツホ
Applicant, Patent owner： ビーエーエスエフ アクチエンゲゼルシヤフト
Agent (1)： 田代 烝治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991010758
Publication number (International publication number)：1993060692
Application date： Jan. 31, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明の目的とするところは、超薄膜/層構造を光学的成分によりラマン分光学的に検査することを可能ならしめる方法を提供することである。【構成】 層構造に偏光を指向させ、そのプラズモン表面ポラリトンを励起して検査される層或は層構造にラマン散乱光を生起させ、この散乱光を影像装置の使用により検知装置上に影像化することを特徴とする、偏光により薄膜の物理的性質を検査する方法。

Claim (excerpt)：

層構造に偏光を指向させ、そのプラズモン表面ポラリトンを励起して検査される層或は層構造にラマン散乱光を生起させ、この散乱光を影像装置の使用により検知装置上に影像化することを特徴とする、偏光により薄膜の物理的性質を検査する方法。

IPC (2)：

G01N 21/65 ,  G01N 21/21