薄膜積層基板用シートならびに薄膜積層基板、およびそれらの製造方法ならびに製造装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：富田和子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996025411
Publication number (International publication number)：1997219590
Application date： Feb. 13, 1996
Publication date： Aug. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】微細配線および多様な構造が可能な、信頼性の高い薄膜積層基板の安価かつ容易な製造。【解決手段】長尺物の金属箔2の表面に、感光性樹脂を用いてスルーホール10を備える絶縁膜4を形成し、長尺物の複合シート4bとする((a)〜(d))。これにビア配線36、平面配線2aを形成した後、裁断して配線シート4eを得る((e)〜(k))。この配線シート4eを接着シートを介して積層し、多層積層基板を得る((l)〜(m))。

Claim (excerpt)：

絶縁材料からなる絶縁膜と、上記絶縁膜を貫通する柱状の導体からなるビア配線と、上記絶縁膜の表裏のうち少なくとも一方の面に形成された平面配線とを備え、上記絶縁材料は、感光性樹脂組成物の硬化物であることを特徴とする薄膜積層基板用シート。

FI (3)：

H05K 3/46 T , H05K 3/46 E , H05K 3/46 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

単層配線ユニットおよび多層回路配線板ならびにその製法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-111596 Applicant：日東電工株式会社
特開平4-162589
多層配線板の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-300942 Applicant：日立化成工業株式会社

Show all

Return to Previous Page