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J-GLOBAL ID：200903013846190970
テラヘルツ波分光計測によるターゲット判別方法及び装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
堀田 実
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003082466
Publication number (International publication number)：2004286716
Application date： Mar. 25, 2003
Publication date： Oct. 14, 2004
Summary：
【課題】従来のX線写真では判断できなかった内在物の成分を、形状と共に、開封することなく、判別することができるテラヘルツ波を用いたターゲット判別方法及び装置を提供する。【解決手段】約1〜3THzのテラヘルツ波領域において、複数の異なる波長に対するターゲットの吸光度Sのスペクトル[S]を予め計測する分光スペクトル計測ステップと、被対象物に前記各波長のテラヘルツ波を照射して、被対象物の吸光度Iを計測する被対象物分光計測ステップとを有し、吸光度Sのスペクトル[S]と被対象物の吸光度Iのスペクトル[I]から、対象物の成分の有無を判別する。【選択図】 図4
Claim (excerpt)：
約1〜3THzのテラヘルツ波領域において、複数の異なる波長に対するターゲットの吸光度Sのスペクトル[S]を予め計測する分光スペクトル計測ステップと、
被対象物に前記各波長のテラヘルツ波を照射して、被対象物の吸光度Iを計測する被対象物分光計測ステップとを有し、
前記吸光度Sのスペクトル[S]と被対象物の吸光度Iのスペクトル[I]から、対象物の成分の有無を判別する、ことを特徴とするテラヘルツ波分光計測によるターゲット判別方法。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (13)：
2G059AA01
, 2G059AA05
, 2G059EE01
, 2G059EE12
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059KK01
, 2K002AA04
, 2K002AB12
, 2K002BA01
, 2K002CA03
, 2K002DA01
, 2K002HA21
Cited by examiner (3)
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特開平1-242941
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半導体の不純物濃度検査装置及び検査方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2000-184407
Applicant：株式会社栃木ニコン, 株式会社ニコン
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統計的信頼区間の決定を含む多成分分析方法
Gazette classification：公表公報
Application number：特願平10-500592
Applicant：ザパーキン-エルマーコーポレーション
Article cited by the Patent：
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