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J-GLOBAL ID:200903013851286420
部品清浄度評価方法とその装置および洗浄方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
大胡 典夫 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000100225
Publication number (International publication number):2001276760
Application date: Apr. 03, 2000
Publication date: Oct. 09, 2001
Summary:
【要約】【課題】 被測定体に付着しているダスト等のパーティクルの量を再現性良く簡便に測定して、定量化して評価する清浄度評価方法とその装置、および、それを用いた洗浄方法を提供すること。【解決手段】 測定槽3内の脱気水中に被測定体4を浸漬し、パーティクルの数を液中パーティクルカウンタ17で測定する。
Claim (excerpt):
測定槽内の液体中に被測定体を浸漬し、前記液体中のパーティクルの数を液中パーティクルカウンタで測定する部品洗浄度評価方法において、前記液体は、脱気水であることを特徴とする部品洗浄度評価方法。
IPC (5):
B08B 3/08
, B08B 3/12
, H01L 21/304 642
, H01L 21/304
, H01L 21/304 648
FI (5):
B08B 3/08 Z
, B08B 3/12 A
, H01L 21/304 642 A
, H01L 21/304 642 E
, H01L 21/304 648 G
F-Term (5):
3B201BB02
, 3B201BB85
, 3B201BB93
, 3B201BB94
, 3B201CC21
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