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J-GLOBAL ID：200903013864344968

ウエーハの製造方法

Inventor： 柴野 由紀夫 ,  藤村 頼人
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993205210
Publication number (International publication number)：1995052149
Application date： Aug. 19, 1993
Publication date： Feb. 28, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】本発明は、ワイヤーに対して機械的に送り込まれる半導体インゴットや合成石英インゴット等のインゴットをワイヤソーにより切断して高精度の厚さを有するウエーハを製造する方法を提供する。【構成】ワイヤソーにより丸形インゴットをその直径方向に沿って切断してウエーハを製造する方法において、該丸形インゴットの切り始め部分から直径上55〜70%の位置の該インゴットの送り込み速度を最低送り込み速度とし、切り始め部分および切り終り部分における該インゴットの送り込み速度を夫々最低送り込み速度の2〜4倍および 1.2〜2倍とし、かつ切断中は該インゴットの送り込み速度の各変速点における送り込み速度の変化を連続的に行うことを特徴とするウエーハの製造方法、及びワイヤーソーにより丸形インゴットを切断してウエーハを製造する方法において、ワイヤー摩耗量を往復走行の場合はワイヤー直径で10μm以下、並びに一方向走行の場合は5μm以下となるように制御することを特徴とするウエーハの製造方法。

Claim (excerpt)：

ワイヤソーにより丸形インゴットをその直径方向に沿って切断してウエーハを製造する方法において、該丸形インゴットの切り始め部分から直径上55〜70%の位置の該インゴットの送り込み速度を最低送り込み速度とし、切り始め部分および切り終り部分における該インゴットの送り込み速度を夫々最低送り込み速度の2〜4倍および 1.2〜2倍とし、かつ切断中は該インゴットの送り込み速度の各変速点における送り込み速度の変化を連続的に行うことを特徴とするウエーハの製造方法。

IPC (3)：

B28D 5/04 ,  B24B 27/06 ,  H01L 21/304 311

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-129661
  
• 特開昭57-041118
  
• 特開昭55-042736