Pat

J-GLOBAL ID：200903013864926436

多孔質膜、その製造法及び物品

Inventor： 成田 武憲 ,  森嶋 浩之 ,  山本 靖浩 ,  野部 茂 ,  榎本 和宏 ,  横塚 俊亮 ,  松倉 郁生
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社 ,  旭硝子株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998023140
Publication number (International publication number)：1999217458
Application date： Feb. 04, 1998
Publication date： Aug. 10, 1999
Summary：

【要約】【課題】 低誘電率で耐吸湿性に優れ、機械的特性にも優れる多孔質膜の製造法、低誘電率で耐吸湿性に優れ、機械的特性にも優れる多孔質膜、低誘電率の多孔質膜、及び低誘電率で耐吸湿性に優れ、機械的特性にも優れる多孔質膜を有し、そのために信頼性の高い半導体素子等の物品を提供する。【解決手段】 アルコキシシランの部分加水分解縮合物と樹脂からなる均一に相溶した複合材の膜を、その樹脂の熱分解開始温度以上の温度で熱処理することを特徴とする多孔質膜の製造法、この多孔質膜の製造法により得られる多孔質膜、誘電率が2.0以下の多孔質膜及びこの多孔質膜を有する物品。

Claim (excerpt)：

アルコキシシランの部分加水分解縮合物と樹脂からなる均一に相溶した複合材の膜を、その樹脂の熱分解開始温度以上の温度で熱処理することを特徴とする多孔質膜の製造法。

IPC (4)：

C08J 9/26 102 ,  C08J 7/00 301 ,  C08L 83/04 ,  C08L101/04

FI (4)：

C08J 9/26 102 ,  C08J 7/00 301 ,  C08L 83/04 ,  C08L101/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 製膜溶液及びそれから得られる多孔質フィルム又は多孔質フィルムの被覆物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-037825   Applicant：ユニチカ株式会社
• 有機-無機複合体および無機多孔質体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-189731   Applicant：旭化成工業株式会社