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J-GLOBAL ID：200903013889361123

アルミナ前駆体溶液、当該溶液を用いたアルミナ薄膜の形成方法及びアルミナ薄膜形成体

Inventor： 荻原 隆 ,  小川 賢治 ,  永田 憲史 ,  井口 真仁 ,  渡辺 雅幸
Applicant, Patent owner： 秩父小野田株式会社 ,  荻原 隆
Agent (1)： 有賀 三幸 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994007158
Publication number (International publication number)：1995216552
Application date： Jan. 26, 1994
Publication date： Aug. 15, 1995
Summary：

【要約】【構成】 (A)アルミニウムアルコキシドと水とβ-ケト酸化合物又はグリコールエーテル化合物との反応物、(B)増粘剤、並びに(C)カップリング剤を含有するアルミナ前駆体溶液、これを用いたアルミナ薄膜の形成方法、並びにこれにより得られたアルミナ薄膜形成体。【効果】 本発明のアルミナ前駆体溶液を用いれば、あらゆる基材に対しても密着強度が高く、緻密で表面が平滑で、かつ経時的に安定なアルミナ薄膜を効率良く形成させることができる。

Claim (excerpt)：

(A)アルミニウムアルコキシドと水とβ-ケト酸化合物又はグリコールエーテル化合物との反応物、(B)増粘剤、並びに(C)カップリング剤を含有するアルミナ前駆体溶液。

IPC (4)：

C23C 18/12 ,  B28B 1/30 101 ,  C01F 7/30 ,  C03C 17/25