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J-GLOBAL ID：200903013895851655

荷電粒子線装置及びデバイス製造方法

Inventor： 八尋 威久
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 渡部 温
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000045944
Publication number (International publication number)：2001236910
Application date： Feb. 23, 2000
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】 アイソレーションバルブが破損するのを防ぐことができる荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】 荷電粒子線装置の制御部は、装置トラブルが発生すると、真空ポンプが運転中か否かを判定し(ステップS100)、真空計による真空度の計測値が良好か否かを判定する(ステップS101)。ステップS100及びS101でNOと判定された場合は、即座に各電極電源に電源OFF信号を発し、同時に遅延時間記憶部が遅延時間のカウントを開始する(ステップS102)。そして、遅延時間が経過した後、電磁弁に電気信号を送り、アイソレーションバルブを閉じる(ステップS103、S104)。これにより、荷電粒子線源部の真空度低下が防止され、カソードの酸化等の劣化が起こるのを防止できる。

Claim (excerpt)：

荷電粒子源及びそれを隔離するアイソレーションバルブを含む荷電粒子線装置であって;装置トラブルを検知して装置トラブル信号を発する検知器と、該装置トラブル信号を受けて、前記荷電粒子源の電源に電源OFF信号を発するとともに、前記アイソレーションバルブの駆動機構に閉動作指令信号を発する制御部と、を備え、該制御部が、前記装置トラブル信号を受けて即座に前記電源OFF信号を発し、その後、ある遅延時間遅れてから前記閉動作指令信号を発することを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (4)：

H01J 37/04 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027

FI (4)：

H01J 37/04 A ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 V

F-Term (10)：

5C030AA01 ,  5C030AB03 ,  5C030BC06 ,  5C030BC07 ,  5C033KK02 ,  5C033KK06 ,  5C034BB01 ,  5C034BB10 ,  5F056EA02 ,  5F056EA16