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J-GLOBAL ID：200903013902485651

多層膜からなる赤外線センサ及びその製造方法

Inventor： 真野 毅 ,  飯野 修 ,  吉岡 正行 ,  増井 裕久 ,  福島 利博 ,  横山 尚人
Applicant, Patent owner： 静岡県 ,  株式会社富士セラミックス
Agent (1)： 志水 浩
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002264839
Publication number (International publication number)：2004101391
Application date： Sep. 10, 2002
Publication date： Apr. 02, 2004
Summary：

【課題】本発明は、多層膜からなる赤外線センサに関するものである。特に、スパッタリングによる酸素の添加率が異なる膜を積層化し、導電率およびサーミスタ定数(以下B定数)を容易に制御できる多層膜からなるボロメータ型赤外線センサ及びその製造方法に関する。【解決手段】導電率およびサーミスタ定数を制御した各薄膜層からなる多層膜ボロメータ型赤外線センサであって、基板と、スパッタリング方式で前記基板上に多層に成膜させた前記各薄膜層とからなる多層膜と、前記多層膜から得られる所望の導電率とB定数とを備えた多層膜からなる赤外線センサ。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

導電率およびサーミスタ定数を制御した各薄膜層からなる多層膜ボロメータ型赤外線センサであって、基板と、スパッタリング方式で前記基板上に多層に成膜させた前記各薄膜層とからなる多層膜と、前記多層膜から得られる所望の導電率とB定数とを備えた多層膜からなる赤外線センサ。

IPC (3)：

G01J1/02 ,  C23C14/08 ,  H01C7/04

FI (3)：

G01J1/02 C ,  C23C14/08 N ,  H01C7/04

F-Term (17)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  4K029AA06 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BD00 ,  4K029CA06 ,  5E034BA09 ,  5E034BB08 ,  5E034BC01 ,  5E034DA02 ,  5E034DA07 ,  5E034DC03 ,  5E034DE16