Pat
J-GLOBAL ID:200903013903526580
ウエハ自動研削装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
米原 正章 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993275222
Publication number (International publication number):1995130691
Application date: Nov. 04, 1993
Publication date: May. 19, 1995
Summary:
【要約】【目的】 ウエハの研削、研摩、洗浄工程を自動化して無人化運転を可能にする。【構成】 必要な基数の研削機3,4と研摩機5及び洗浄機6をロボット1の周辺に配置し、かつ各工程で加工するウエハ2の搬送を上記ロボット1で搬送するようにしたもので、ウエハ2の研削、研摩、洗浄が自動化できるため、量産ラインの無人化運転が可能になる。
Claim (excerpt):
必要な基数の研削機3,4と研摩機5及び洗浄機6をロボット1の周辺に配置し、かつ各工程で加工するウエハ2の搬送を上記ロボット1で行うことを特徴とするウエハ自動研削装置。
IPC (4):
H01L 21/304 331
, H01L 21/304 321
, B24B 41/06
, B24B 51/00
Return to Previous Page