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J-GLOBAL ID：200903013910581260

プラズマ表面処理装置

Inventor： 藤田 司
Applicant, Patent owner： 株式会社キーエンス
Agent (1)： 松本 直己
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000114458
Publication number (International publication number)：2001297898
Application date： Apr. 14, 2000
Publication date： Oct. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】 アーク放電の停止中に電極に触れることがあっても、感電するおそれの無いプラズマ表面処理装置を提供する。【解決手段】 プラズマ表面処理装置1は、アーク放電を発生させる一対の電極12a,12bと、一対の電極間に高周波の高電圧を印加するための高周波トランス11と、高周波トランス11の一次側コイル11aを駆動する駆動回路10と、高周波トランス11の二次側コイル11bと電極12a,12bとの間に挿入された放電電流安定化用のコンデンサ14と、コンデンサ14と並列に接続された放電用抵抗15とを備えている。

Claim (excerpt)：

アーク放電によってプラズマを発生させ、このプラズマによって材料の表面処理を行うプラズマ表面処理装置であって、アーク放電を発生させる一対の電極と、前記一対の電極間に高周波の高電圧を印加するための高周波トランスと、前記高周波トランスの一次側コイルを駆動する駆動回路と、前記高周波トランスの二次側コイルと少なくとも片方の電極との間に挿入された放電電流安定化用のコンデンサと、前記コンデンサと並列に接続された放電用抵抗とを備えているプラズマ表面処理装置。

IPC (3)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08 ,  C23F 4/00

FI (3)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08 H ,  C23F 4/00 C

F-Term (14)：

4G075AA24 ,  4G075BC10 ,  4G075CA17 ,  4G075CA47 ,  4G075EC21 ,  4K057DA01 ,  4K057DA19 ,  4K057DA20 ,  4K057DD01 ,  4K057DD03 ,  4K057DD07 ,  4K057DG13 ,  4K057DM16 ,  4K057DM28