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J-GLOBAL ID：200903013915735436

誘電体バリヤ放電ランプとそれを使用した処理方法

Inventor： 松野 博光 ,  五十嵐 龍志 ,  平本 立躬
Applicant, Patent owner： ウシオ電機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993146687
Publication number (International publication number)：1994338299
Application date： May. 27, 1993
Publication date： Dec. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】 光出力が安定で、放射輝度の高い誘電体バリヤ放電ランプを提供することであり、さらに、該誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法を提供することである。【構成】 放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該誘電体バリヤ放電の放電路に平行して設けられた光取りだし窓部材を有する誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該光取りだし窓部材の放電路に平行な長さHが該誘電体バリヤ放電の放電路長Lを越えるように構成する。

Claim (excerpt)：

放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該誘電体バリヤ放電の放電路に平行して設けられた光取りだし窓部材を有する誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該光取りだし窓部材の放電路に平行な長さHが該誘電体バリヤ放電の放電路長Lを越える事を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ。

IPC (3)：

H01J 65/04 ,  G21K 5/00 ,  C08J 7/00 304