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J-GLOBAL ID：200903013919977000

半導体加速度検出装置

Inventor： 山本 雅裕
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994246173
Publication number (International publication number)：1996110352
Application date： Oct. 12, 1994
Publication date： Apr. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、検出すべき方向以外の加速度をキャンセルし、小型で感度のよい半導体加速度検出装置を得ることを目的とする。【構成】 ベース5aのほぼ中央に台座4が配置されており、この台座4により加速度検出梁2が支持されている。加速度検出梁2の長手方向の両側には、台座4を線対称の中心として、全く同一寸法、構造の2つの梁が形成されており、2つの梁にはそれぞれダイヤフラム3、ゲージ抵抗1が設けられている。【効果】 加速度検出梁の長手方向における加速度の検出を低減すると共に、加速度検出梁の垂直方向における加速度の感度を2倍に増加するので、より正確な加速度検出を可能にするという効果を奏する。

Claim (excerpt)：

一方の面にゲージ抵抗がブリッジ回路を構成するように形成され、このゲージ抵抗の裏面にダイヤフラムが形成された加速度検出梁を台座によりパッケージに固定された半導体加速度検出装置であって、上記加速度検出梁はその長手方向の中央で上記台座に固定され、上記ゲージ抵抗及び上記ダイヤフラムは上記台座を線対称の中心として上記加速度検出梁の長手方向両側に線対称となるようにそれぞれ設けられたことを特徴とする半導体加速度検出装置。