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J-GLOBAL ID：200903013920792790

レーザ回折・散乱式粒度分布測定装置

Inventor： 島岡 治夫
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 河▲崎▼ 眞樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000237492
Publication number (International publication number)：2002048699
Application date： Aug. 04, 2000
Publication date： Feb. 15, 2002
Summary：

【要約】【課題】 被測定粒子群に平行レーザ光を照射して得られる回折・散乱光の空間強度分布を、従来に比して広い角度範囲で連続的に測定して高分解能のもとに測定することができ、サブミクロン領域での粒度分布を高い分解能で測定することのできるレーザ回折・散乱式粒度分布測定装置を提供する。【解決手段】 被測定粒子群に平行レーザ光を照射して得られる回折・散乱光を、0°近傍から40°以上にわたって集光レンズ3で集光し、その焦点位置に置かれた光センサアレイ4により空間的に連続してその強度分布を測定するとともに、その測定された光強度分布から粒度分布を算出する前に、当該光強度分布測定結果を、あらかじめ光線追跡により求めて記憶している集光レンズ3による収差と、光路上での減衰による誤差の補正演算を行うことにより、従来に比してより広い角度範囲の回折・散乱光を空間的に連続して測定した高分解能の光強度分布を得て、サブミクロン領域での粒度分布を高分解能のもとに測定することを実現する。

Claim (excerpt)：

分散飛翔状態の被測定粒子群に平行レーザ光を照射する照射光学系と、そのレーザ光の照射により生じる回折・散乱光の空間強度分布を測定する測定光学系と、その回折・散乱光の空間強度分布を用いて被測定粒子群の粒度分布を算出する演算手段を備えたレーザ回折・散乱式粒度分布測定装置において、上記測定光学系が、上記回折・散乱光の0°近傍の前方微小角度から40°以上にわたる広角度の回折・散乱光を集光する集光レンズと、その集光レンズの焦点位置に置かれた検出面への入射光の強度分布を検出する光センサを備えているとともに、上記演算手段は、上記測定光学系の光線追跡によりあらかじめ求められて記憶している上記集光レンズによる収差、および光路上での減衰による回折・散乱光強度分布の測定誤差の補正演算を行ったうえで粒度分布を求めることを特徴とするレーザ回折・散乱式粒度分布測定装置。

IPC (3)：

G01N 15/02 ,  G01N 21/05 ,  G01N 21/47

FI (3)：

G01N 15/02 A ,  G01N 21/05 ,  G01N 21/47 A

F-Term (25)：

2G057AA01 ,  2G057AA02 ,  2G057AA11 ,  2G057AB04 ,  2G057AB06 ,  2G057AB07 ,  2G057AC01 ,  2G057AC03 ,  2G057BA05 ,  2G057DC07 ,  2G059AA05 ,  2G059BB06 ,  2G059CC19 ,  2G059CC20 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK03 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09 ,  2G059PP04