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J-GLOBAL ID：200903013924428210

放電プラズマ処理装置及びそれを用いた処理方法

Inventor： 岩根 和良
Applicant, Patent owner： 積水化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001206530
Publication number (International publication number)：2003022898
Application date： Jul. 06, 2001
Publication date： Jan. 24, 2003
Summary：

【要約】【課題】 放電プラズマ処理装置で用いる鉄系金属の電極等を剛性や耐熱性を維持し、かつ放電特性を維持して軽量化した放電プラズマ処理装置の提供。【解決手段】 対向する電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該電極間に電界を印加することにより、放電プラズマを発生させる放電プラズマ処理装置であって、電極用材料として鉄系金属を軽質化した材料を用いることを特徴とする放電プラズマ処理装置。

Claim (excerpt)：

対向する電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該電極間に電界を印加することにより、放電プラズマを発生させる放電プラズマ処理装置であって、電極用材料として鉄系金属を軽質化した材料を用いることを特徴とする放電プラズマ処理装置。

IPC (2)：

H05H 1/24 ,  C23C 16/50

FI (2)：

H05H 1/24 ,  C23C 16/50

F-Term (5)：

4K030FA03 ,  4K030JA11 ,  4K030JA14 ,  4K030KA30 ,  4K030KA46