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J-GLOBAL ID：200903013935483247

平面研磨装置用キャリヤ及びその製造方法

Inventor： 竹 内 浩 司 ,  二 見 成一郎 ,  吉 田 明
Applicant, Patent owner： スピードファム株式会社
Agent (1)： 林 宏 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993119116
Publication number (International publication number)：1994304859
Application date： Apr. 22, 1993
Publication date： Nov. 01, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ワーク外周面に強化用繊維による掻き傷が付かない繊維強化プラスチック製のキャリヤを得ること。【構成】 繊維強化プラスチック製キャリヤ10のワーク12と当接する中層部14に、強化用繊維としてポリエステル繊維等の柔軟性ある繊維を配設し、外層部13にガラス繊維等の剛性繊維を配設した。

Claim (excerpt)：

ワークを研磨加工する平面研磨装置においてワークの保持に使用されるキャリヤであって、強化用繊維をプラスチックで固めた繊維強化プラスチックにより形成され、少なくとも中層部に、強化用繊維としてポリエステル繊維等の柔軟性ある繊維が配設されていることを特徴とする平面研磨装置用キャリヤ。

IPC (6)：

B24B 37/04 ,  B29C 43/18 ,  B32B 27/04 ,  B32B 31/20 ,  B29K105:06 ,  B29L 31:00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭58-186570
  
• 特開昭58-186570