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J-GLOBAL ID：200903013949024776

真空容器の汚染防止構造

Inventor： 松村 正夫 ,  篠塚 脩平 ,  竹内 則行 ,  吉岡 毅
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993311328
Publication number (International publication number)：1995136490
Application date： Nov. 17, 1993
Publication date： May. 30, 1995
Summary：

【要約】【目的】 真空容器の容器内での処理対象物の汚染を効果的に防止して、製品の品質や性能、歩留まり等を向上させる。【構成】 処理対象物8を収容する清浄な真空雰囲気の容器6において、容器6内のベロー4やオーリング2のシール部位といった汚染源部位を遮蔽板10、11で覆い、遮蔽板10、11で汚染源部位2、4を容器6内の空間から隔離し、これら汚染源部位2、4から放出される汚染物質を遮蔽板10、11で捕獲することによって、汚染物質が処置対象物8に付着するのを防止する。

Claim (excerpt)：

処理対象物を収容する清浄な真空雰囲気の容器に設ける汚染防止構造であって、前記容器内の汚染源部位を遮蔽板で覆い、当該遮蔽板で汚染源部位を容器内の空間から隔離したことを特徴とする真空容器の汚染防止構造。

IPC (3)：

B01J 3/00 ,  C23C 14/00 ,  H01L 21/68