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J-GLOBAL ID：200903013951861251
共焦点走査型光学顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994278003
Publication number (International publication number)：1996136815
Application date： Nov. 11, 1994
Publication date： May. 31, 1996
Summary：
【要約】【目的】簡易な構成でありながら、高分解能の観察から試料の斜面の観察等のような受光量の小さい状態での観察までを可能にすること。【構成】光源 2から出射された光を対物レンズ 7を介して試料 9に集光すると共に、試料に集光した光と試料を相対的に2次元走査し、試料からの光を光検出器12により検出して画像データを得る共焦点走査型光学顕微鏡において、前記光検出器12はその受光面上に生成された光スポットよりも小さい複数の受光領域12a〜12d を有する構成とすると共に、前記光検出器の受光領域は、中央に微少な円領域を持ち、その外周に複数の受光領域を同心円状に配置した構成とし、また、前記光検出器の各受光領域から発生する検出出力を選択的に加算して取り出すための選択手段33を備える構成とすることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
光源から出射された光を対物レンズを介して試料に集光すると共に、前記試料に集光した光と試料を相対的に2次元走査し、試料からの光を光検出器により検出して画像データを得る共焦点走査型光学顕微鏡において、前記光検出器はその受光面上に生成された光スポットよりも小さい複数の受光領域で構成すると共に、また、前記光検出器の各受光領域から発生する信号を選択的に組み合わせる選択回路を設けて構成したことを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。
IPC (4)：
G02B 21/00
, G01N 21/17
, G02B 21/36
, G01B 11/00
