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J-GLOBAL ID：200903013960685024
圧電振動角速度計の製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
稲本 義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995136319
Publication number (International publication number)：1996327364
Application date： Jun. 02, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：
【要約】【目的】 圧電振動角速度計を低コストで小型化して製造できるようにする。【構成】 シリコンウエハ1上に窒化珪素膜2を形成し、所定のパターンのレジスト3を介してエッチングしてウエハ1を露出させ、さらに水酸化カリウム40%溶液でエッチングして露出した部分のウエハ1を除去した後、下部電極5、PZT膜6、上部電極7を積層形成する。上記工程中ウエハ1のエッチングを行う際に、シリコン単結晶の結晶軸異方性を利用して異方性エッチングを行うことにより、製品を精度よく、また再現性よく作成することができる。
Claim (excerpt)：
単結晶シリコン基板上に圧電材料または電歪材料からなる少なくとも一層の薄膜を形成し、前記薄膜の正・逆の圧電効果を利用して回転角速度を検出する圧電振動角速度計の製造方法において、前記基板はシリコン(100)単結晶基板であり、前記基板の表面に形成されたエッチング保護膜のパターンはオリエンテーションフラットに対し平行または垂直な直線で構成されることを特徴とする圧電振動角速度計の製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
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