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J-GLOBAL ID：200903013969177331

カソードルミネッセンス像観察装置における信号切り替え装置

Inventor： 軽部 敏司
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998073693
Publication number (International publication number)：1999273609
Application date： Mar. 23, 1998
Publication date： Oct. 08, 1999
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は、任意の波長に対応したカソードルミネッセンス像を、走査電子顕微鏡の操作,制御により観察をすることにある。【解決手段】波長測定機能とカソードルミネッセンス像観察機能を選択することが可能な信号切り替えユニットを用いる。

Claim (excerpt)：

走査電子顕微鏡において、試料のカソードルミネッセンス像を観察する為に、光度計の検出信号と、走査電子顕微鏡の像信号を、走査電子顕微鏡からの操作,制御により、切り替え可能とし、走査電子顕微鏡の観察モニタにカソードルミネッセンス像を表示することを特徴としたカソードルミネッセンス像観察装置における信号切り替え装置。

IPC (4)：

H01J 37/244 ,  G01J 3/443 ,  G01N 21/62 ,  H01J 37/28

FI (4)：

H01J 37/244 ,  G01J 3/443 ,  G01N 21/62 A ,  H01J 37/28 B