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J-GLOBAL ID：200903013975146979

マイクロメカニック運動する鏡を備えたレーザーシステム

Inventor： ハイネマン・シュテファン ,  メーネルト・アクセル ,  クロイ・ヴァルター ,  ポイザー・ペーター ,  シュミット・ニコラウス ,  ザイデル・ヘルムート
Applicant, Patent owner： ドイッチェ・アエロスペース・アクチェンゲゼルシャフト
Agent (1)： 江崎 光好 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1993517944
Publication number (International publication number)：1996500468
Application date： Apr. 03, 1993
Publication date： Jan. 16, 1996
Summary：

【要約】この発明は、マイクロメカニックに作製され、操作装置を備えているため、小さいレーザー鏡の変調を早く行える、一つまたはそれ以上の能動的に制御されるレーザー鏡を有するレーザーシステムに関する。これ等の鏡は大量に経済的に作製できるように設計されている。種々の実施例が説明され、図面に示してある。

Claim (excerpt)：

圧電セラミックスのような電子歪み材料により運動する一つまたはそれ以上の有効に調整されるレーザー鏡を有するレーザーシステムにおいて、このレーザーシステムのレーザー鏡がそれぞれマイクロシステム技術を基礎にして作製され、半導体材料で作製された素子により構成され、この素子は半導体パターン処理化法(エッチング技術)を用いて一方でアクチエータとして構成され、他方で光学薄膜技術(誘電ないしは金属フィルム製膜)を用いてレーザーシステムの発光特性を制御できる鏡素子に成形されることを特徴とするレーザーシステム。

IPC (2)：

H01S 3/18 ,  G02B 26/08