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J-GLOBAL ID：200903014001704750
半導体レーザ露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大沼 浩司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992193212
Publication number (International publication number)：1994084741
Application date： Jun. 25, 1992
Publication date： Mar. 25, 1994
Summary：
【要約】【目的】 半導体レーザアレイを用いて多数本のレーザ光を一列に次々にずれて重ねることができ該レーザ光の配列方向と直交方向に照射移動して多数本レーザビーム露光ができ、露光作業にかかる時間を大幅に短縮できる半導体レーザ露光装置。【構成】 半導体レーザアレイ2から放射するレーザ光がレンズアレイ3と第一の集光レンズ4と第二の集光レンズ5とオートフォーカスレンズ6を透過して被露光物体Wに照射するようになっている。
Claim (excerpt)：
走査テーブルに、被露光物体にレーザ光を放射する半導体レーザアレイが設置され、さらに半導体レーザアレイから距離Aだけ離れてレンズアレイが設置され、さらにレンズアレイから距離Bだけ離れて第一の集光レンズが設置され、さらに第一の集光レンズから距離Cだけ離れて第二の集光レンズが設置され、さらに第二の集光レンズから距離Dだけ離れてオートフォーカスレンズが設置されてなり、前記半導体レーザアレイは、所要の光軸間ピッチtでレーザ光が平行して放射するように半導体レーザが並列一体に所要数備えてなり、前記レンズアレイは、レンズ部の中心間ピッチが前記レーザ光の光軸間ピッチtと同一であり前記半導体レーザから放射するレーザ光の拡がり角を一層大きく広げる機能を有するレンズ部が並列一体に形成されたものであり、前記レンズアレイと前記第一の集光レンズとの距離Bは、前記レンズアレイにより口径を拡げられるレーザ光が前記第一の集光レンズの肉厚中心に到達したときに隣接して到達するレーザ光との間で適宜値のオーバーラップを生じるように設定されており、前記第一の集光レンズと前記第二の集光レンズとの距離Cは、第一の集光レンズの焦点距離f1と第二の集光レンズの焦点距離f2を加算した距離に設定されており、前記第二の集光レンズと前記オートフォーカスレンズとの距離Dは、第二の集光レンズの焦点距離f2とオートフォーカスレンズの焦点距離f3を加算した距離に設定されており、前記オートフォーカスレンズと前記被露光物体との距離は、露光に先立って前記走査テーブルをX軸方向に移動調整してオートフォーカスレンズの焦点距離f3に一致するようになっているとともに、露光中はオートフォーカスレンズのオートフォーカス機能により焦点距離f3に一致するようになっていることを特徴とする半導体レーザ露光装置。
IPC (3)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 505
, H01S 3/18
H01L 21/30 321
, H01L 21/30 311 S
