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J-GLOBAL ID：200903014019336731

X線リソグラフィー用反射縮小結像光学系

Inventor： 真島 清人
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 猪熊 克彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996087635
Publication number (International publication number)：1997251097
Application date： Mar. 15, 1996
Publication date： Sep. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】簡易な構成にて十分な結像性能を得ることができるX線リソグラフィー用反射縮小結像光学系を提供する。【解決手段】物体M側から順に、第1の凹面鏡G4と、平面鏡G3と、凸面鏡G2と、第2の凹面鏡G1とを共軸に配置し、各凹面鏡G4、G1と凸面鏡G2とを非球面形状に形成し、凸面鏡G2を瞳面に配置し、且つ像W側にテレセントリックとなるように形成したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

物体側から順に、第1の凹面鏡と、平面鏡と、凸面鏡と、第2の凹面鏡とを共軸に配置し、前記各凹面鏡と凸面鏡とを非球面形状に形成し、前記凸面鏡を瞳面に配置し、且つ像側テレセントリックとなるように形成したX線リソグラフィー用反射縮小結像光学系。

IPC (5)：

G21K 1/06 ,  G02B 17/00 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G21K 1/06 M ,  G02B 17/00 A ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 531 Z