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J-GLOBAL ID：200903014026224612

電子ビーム露光装置

Inventor： 大饗 義久 ,  坂本 樹一
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 高橋 敬四郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991290231
Publication number (International publication number)：1993129192
Application date： Nov. 06, 1991
Publication date： May. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高解像度を実現するための低収差収束偏向系を有する電子ビーム露光装置に関し、小型化が可能で、かつ収差の少ないサドル型電磁偏向器を有する電子ビーム露光装置を提供することを目的とする。【構成】 電子ビームを任意の形状に成形し、その像を試料上に縮小投影するための電磁レンズと、電子ビームを偏向させ試料上を走査するための複数段のサドル型電磁偏向器を具備する電子ビーム露光装置において、前記複数段のサドル型電磁偏向器の少なくとも1段が光軸の回りに20mm以下の曲率半径を有し、かつ曲率半径と開き半角の関係において30mm以上で60°、14mmで約62°、9mmで約64°、7mmで約66°の各点を滑らかに結ぶ曲線の近傍に位置する開き半角を有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

電子ビーム(1)を任意の形状に成形し、その像を試料(2)上に縮小投影するための電磁レンズ(3)と、電子ビームを偏向させ試料上を走査するための複数段のサドル型電磁偏向器(D1〜D4)を具備する電子ビーム露光装置において、前記複数段のサドル型電磁偏向器の少なくとも1段が光軸の回りに20mm以下の曲率半径を有し、かつ曲率半径と開き半角の関係において30mm以上で60°、14mmで約62°、9mmで約64°、7mmで約66°の各点を滑らかに結ぶ曲線の近傍に位置する開き半角を有することを特徴とする電子ビーム露光装置。