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J-GLOBAL ID：200903014046459080

圧電素子

Inventor： 和田 隆亜 ,  倉島 玲伊 ,  赤池 正剛 ,  川崎 岳彦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (3)： 金田 暢之 ,  伊藤 克博 ,  石橋 政幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002379465
Publication number (International publication number)：2004214275
Application date： Dec. 27, 2002
Publication date： Jul. 29, 2004
Summary：

【課題】圧電素子作製の際、大きな変位を得られるように厚みを制御可能で、膜はがれを起こさず、かつ作製歩留まりのよい振動板を備えた圧電素子を提供する。【解決手段】圧電性膜13と、この圧電性膜13の変位に依存して動作する振動板14とを備えた圧電素子であって、振動板14が、圧電性膜13を構成する全種類の元素を含み、かつ導電膜である。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

圧電性膜と、該圧電性膜の変位に依存して動作する振動板とを備えた圧電素子であって、 前記振動板が、前記圧電性膜を構成する全種類の元素を含み、かつ導電膜である圧電素子。

IPC (6)：

H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18

FI (6)：

H01L41/08 C ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 D ,  H01L41/08 J ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H

F-Term (12)：

2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP25 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP54 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA05 ,  2C057BA14