オゾン発生用部材及びこれを用いたオゾン発生装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001393565
Publication number (International publication number)：2003192313
Application date： Dec. 26, 2001
Publication date： Jul. 09, 2003
Summary：

【要約】【課題】フッ素や塩素等の有害ガスを無害化させるオゾンを大量に生成することができ、また、有害ガスに対する耐食性に優れ、かつ発熱し難いオゾン発生用部材とこれを用いたオゾン発生装置を提供する。【解決手段】気孔率3%以下、熱伝導率30W/m・K以上を有する窒化アルミニウム質焼結体又はアルミナ質焼結体からなる板状セラミック体2中に電極3を埋設し、電極3から板状セラミック体2の一方の主面及び他方の主面までの距離Tをそれぞれ0.3〜1mmとしたオゾン発生用部材1を3つ以上並設してオゾン発生装置を構成し、酸素を含む雰囲気中で各オゾン発生用部材1の電極3に交流電力を印加してプラズマを発生させることによりオゾンを生成する。

Claim (excerpt)：

酸素を含む雰囲気中で交流電圧を印加してプラズマを発生させることによりオゾンを生成するためのオゾン発生用部材であって、該オゾン発生用部材は、気孔率3%以下、熱伝導率30W/m・K以上を有する窒化アルミニウム質焼結体又はアルミナ質焼結体からなる板状セラミック体中に電極を埋設してなり、上記電極から板状セラミック体の一方の主面及び他方の主面までの距離がそれぞれ0.3〜1mmであることを特徴とするオゾン発生用部材。

FI (2)：

C01B 13/11 J , C01B 13/11 G

F-Term (6)：

4G042CA01 , 4G042CC02 , 4G042CC10 , 4G042CC16 , 4G042CC19 , 4G042CE04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開昭55-007564
オゾン発生器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-251340 Applicant：松下電器産業株式会社
特開平2-145403

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