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J-GLOBAL ID:200903014066922339

エレクトレットフィルタ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995126548
Publication number (International publication number):1996318114
Application date: May. 25, 1995
Publication date: Dec. 03, 1996
Summary:
【要約】【目的】 半導体、電子機器、薬品、生化学的物質等の製造雰囲気や、電子機器の内部雰囲気を清浄化するため等に用いるエレクトレットフィルタであって、粉塵に対する捕集率が高いものを提供する。【構成】 多孔質フッ素樹脂フィルムが所定枚重ね合わされており、そして、これら多孔質フィルムがエレクトレット化されているものである。
Claim (excerpt):
多孔質フッ素樹脂フィルムが所定枚重ね合わされており、且つ、これら多孔質フッ素樹脂フィルムがエレクトレット化されていることを特徴とするエレクトレットフィルタ。

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