Pat

J-GLOBAL ID：200903014084572990

薄膜のパターニング方法およびそれを用いたTFTアレイ基板およびその製造方法

Inventor： 石川 敬充 ,  山口 偉久 ,  中嶋 健
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンスト・ディスプレイ
Agent (1)： 朝日奈 宗太 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000338106
Publication number (International publication number)：2002141512
Application date： Nov. 06, 2000
Publication date： May. 17, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 下地膜の有無によって、ハーフトーンレジストの厚さに差ができることを防止し、精度のよいパターニングを行なう。【解決手段】 レジストを露光するためのフォトマスク14aに、透過部C、遮光部Aおよび透過する光量の異なる2種類の半透過部B1,B2を設け、下地膜5の存在する領域は透過光量の少ない半透過部B1、下地膜の存在しない領域は透過光量の多い半透過部B2として、露光時の露光量を調節し、均一な厚さのハーフトーンレジスト10とする。

Claim (excerpt)：

基板上に下地膜のパターンを形成する工程と、被エッチング膜を2層以上成膜する工程と、該被エッチング膜上にレジストを塗布する工程と、該レジストを、透過部、遮光部および透過する光量の異なる少なくとも2つの半透過部を有するフォトマスクを使用して露光する工程と、該露光後のレジストを現像し、レジストの膜厚がほぼ0(零)の領域と、レジストの膜厚が大の領域と、レジストの膜厚が両者の中間にある領域の少なくとも3種類の領域を得る工程と、前記レジストをアッシングしながら前記被エッチング膜をエッチングする工程とを有し、前記レジストの膜厚が両者の中間にある領域において、下地膜の存在する領域の前記露光時の透過光量が、下地膜の存在しない領域の前記露光時の透過光量よりも少ないことを特徴とする薄膜のパターニング方法。

IPC (5)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  G02F 1/1368 ,  G03F 7/40 521 ,  G03F 7/42

FI (6)：

G03F 7/40 521 ,  G03F 7/42 ,  H01L 29/78 612 D ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 617 S ,  H01L 29/78 627 C

F-Term (76)：

2H092HA04 ,  2H092JA26 ,  2H092JA28 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JB24 ,  2H092JB31 ,  2H092JB51 ,  2H092KA05 ,  2H092MA01 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA18 ,  2H092MA27 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H096AA00 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096CA05 ,  2H096EA02 ,  2H096EA30 ,  2H096GA02 ,  2H096HA17 ,  2H096HA23 ,  2H096JA04 ,  2H096KA00 ,  2H096LA07 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE07 ,  5F110EE14 ,  5F110EE41 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF21 ,  5F110FF27 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110GG33 ,  5F110GG34 ,  5F110GG35 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK15 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HK25 ,  5F110HK27 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110NN02 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110QQ02 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ05 ,  5F110QQ19