光起電力装置の製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高橋昌久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000213130
Publication number (International publication number)：2002033495
Application date： Jul. 13, 2000
Publication date： Jan. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】単位モジュールが基板上で直列に接続された光起電力装置の製造方法において、加工速度を速め、実質的な集積度の向上を図る。【解決手段】透明基板上に導電性透明電極膜、非晶質半導体膜、金属電極膜の積層膜を有し、モジュール単位に基板上で分離され且つ該分離されたモジュールが基板上で直列に接続された光起電力装置の製造方法において、透明電極側より、電極膜若しくは半導体膜の分離溝形成方向中心線に長径軸が略一致した楕円状パターンのレーザービームをパルス状に照射しつつ該電極膜若しくは半導体膜の分離溝形成方向へ相対的に移動して金属電極膜の分離溝を形成することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

透明基板上に導電性透明電極膜、非晶質半導体膜、金属電極膜の積層膜を有し、モジュール単位に基板上で分離され且つ該分離されたモジュールが基板上で直列に接続された光起電力装置の製造方法において、前記透明基板を通して前記透明電極側より、該電極膜若しくは前記非結晶半導体膜の分離溝形成方向中心線に長径軸が略一致した楕円状パターンのレーザービームをパルス状に照射しつつ該長径軸方向へ相対的に移動して分離溝を形成することを特徴とする光起電力装置の製造方法。

IPC (3)：

H01L 31/04 , B23K 26/00 , B23K101:40

FI (3)：

B23K 26/00 D , B23K101:40 , H01L 31/04 S

F-Term (13)：

4E068AD01 , 4E068CA03 , 4E068CA09 , 4E068CA15 , 4E068CB01 , 4E068CE04 , 5F051AA05 , 5F051EA02 , 5F051EA09 , 5F051EA10 , 5F051EA11 , 5F051EA16 , 5F051GA03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平4-346274
特開昭62-040986
特開昭61-259524

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