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J-GLOBAL ID：200903014099967893

微小領域感光方法、それを用いた光造形方法および感光性物質加工装置

Inventor： 内川 清
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994154778
Publication number (International publication number)：1996020072
Application date： Jul. 06, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 光の回折による絞り込みの限界を超える微小な領域を感光させることができる感光方法、それを用いた光造形方法、および、微小構造物の製作が可能な加工装置を提供する。【構成】 特定の波長域の光照射による光反応によって物性を変化させることのできる感光性物質について、その微小領域を感光させる。作業台2上に前記感光性物質膜1をおき、これに光反応を開始させる波長より長波長側の光を、該感光性物質の、感光させるべき微小領域が存在する界面に対し、全反射条件を満たすように入射させる。そして、前記光の波長域において、2次および3次のうち少なくとも一方の非線形感受率を有する分子で形成されたプローブ4の尖鋭部4aを、前記感光性物質の表面上ないし表面近傍に位置させて、該尖鋭部4aで入射光の高調波を放射させて、当該部位に光反応を誘起する。これを、目的形状の各点について行って、潜像を形成する。これを現像して、微小構造物を得る。

Claim (excerpt)：

特定の波長域の光照射による光反応によって物性を変化させることのできる感光性物質について、その微小領域を感光させる方法であって、前記感光性物質に光反応を開始させる波長より長波長側の光を、該感光性物質の、感光させるべき微小領域が存在する界面に対し、全反射条件を満たすように入射させ、前記光の波長域において、2次および3次のうち少なくとも一方の非線形感受率を有する分子で形成されたプローブの尖鋭部を、前記感光性物質の表面上ないし表面近傍に位置させて、該尖鋭部で入射光の高調波を放射させて、当該部位に光反応を誘起することを特徴とする微小領域感光方法。

IPC (5)：

B29C 67/00 ,  B29C 35/08 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/26 ,  B29K105:24