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J-GLOBAL ID：200903014108600230

露光装置及び方法

Inventor： 稲 秀樹 ,  関根 義之 ,  斉藤 謙治
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997203218
Publication number (International publication number)：1999054397
Application date： Jul. 29, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 球面状のレチクルを使用しなくても球状のデバイス材料の表面へのパターンの露光を可能にする。【解決手段】 キノフォームで形成されたパターン2aを有するレチクル2を保持するレチクルホルダー30と、前記レチクル2上のキノフォームで形成されたパターン2aを介してデバイス材料1の表面を露光する露光手段(光源5、及び照明光学系ILM)を有する。

Claim (excerpt)：

キノフォームで形成されたパターンを有する原板を保持する原板保持手段と、前記原板上のキノフォームで形成されたパターンを介してデバイス材料の表面を露光する露光手段を有することを特徴とする露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/00

FI (5)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 1/08 G ,  H01L 21/00 ,  H01L 21/30 502 Z ,  H01L 21/30 514 B