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J-GLOBAL ID：200903014121575236

薄膜の剥離方法

Inventor： 山口 道也 ,  杉本 直繁
Applicant, Patent owner： カシオ計算機株式会社
Agent (1)： 花輪 義男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001357480
Publication number (International publication number)：2003156619
Application date： Nov. 22, 2001
Publication date： May. 30, 2003
Summary：

【要約】【課題】 カラー液晶表示素子のカラーフィルタ基板において、平坦化膜上に形成された不良カラーフィルタのみを剥離し、且つ、平坦化膜に悪影響を与えないようにする。【解決手段】 ガラス基板11上には、下から順に、アクリル系樹脂からなる支持層12、アルミニウム等の金属からなる反射層13、アクリル系樹脂からなる平坦化膜14、赤、緑、青の着色樹脂からなるカラーフィルタ層15が形成されている。そして、検査でカラーフィルタ層15が不良と判定され、この不良カラーフィルタ層15を剥離する場合には、カラーフィルタ層15に電子線21を走査しながら照射する。すると、カラーフィルタ層15は熱ダメージを受けて劣化する。この場合、平坦化膜14は殆ど熱ダメージを受けず劣化しないようにすることができる。そして、熱ダメージを受けて劣化したカラーフィルタ層15のみを剥離する。

Claim (excerpt)：

基板上に順次積層された複数層の薄膜のうち、最上層の薄膜の少なくとも一部をその膜質を劣化させる膜質劣化工程と、膜質を劣化された前記薄膜を剥離する薄膜剥離工程とを有することを特徴とする薄膜の剥離方法。

IPC (4)：

G02B 5/20 101 ,  B23K 15/00 505 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 505

FI (4)：

G02B 5/20 101 ,  B23K 15/00 505 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 505

F-Term (20)：

2H048BA43 ,  2H048BB02 ,  2H048BB10 ,  2H048BB14 ,  2H048BB28 ,  2H088FA14 ,  2H088HA04 ,  2H088HA12 ,  2H088MA16 ,  2H091FA02Y ,  2H091FB02 ,  2H091FC01 ,  2H091GA07 ,  2H091GA16 ,  2H091LA12 ,  2H091LA30 ,  4E066BA05 ,  4E066BB02 ,  4E066BB03 ,  4E066CB00