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J-GLOBAL ID:200903014131520405

レーザ照射/取り込み光学装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 阿部 龍吉 (外7名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997074885
Publication number (International publication number):1998267846
Application date: Mar. 27, 1997
Publication date: Oct. 09, 1998
Summary:
【要約】【課題】 被検試料の種類等に関係なくS/Nを向上させることができる。【解決手段】 レーザ照射/取り込み光学装置において、中心にレーザ光5を照射するための照射用ファイバを配置すると共に、周囲に散乱光6を取り込むための受光用ファイバを配置した同軸ファイバ1と、該同軸ファイバ1の先端と被検試料4との間に配置され、レーザ光5を照射する小口径の照射レンズ2と散乱光6を前記小口径の照射レンズ2の外側で取り込む大口径の受光レンズ3により構成した照射/取り込みレンズとを備え、被検試料4にレーザ光5を照射して被検試料からの散乱光6を取り込む。
Claim (excerpt):
被検試料にレーザ光を照射して被検試料からの散乱光を取り込むレーザ照射/取り込み光学装置において、中心にレーザ光を照射するための照射用ファイバを配置すると共に、周囲に散乱光を取り込むための受光用ファイバを配置した同軸ファイバと、該同軸ファイバの先端と被検試料との間に配置され、レーザ光を照射する小口径のレンズと散乱光を前記小口径のレンズの外側で取り込む大口径のレンズにより構成した照射/取り込みレンズとを備えたことを特徴とするレーザ照射/取り込み光学装置。
IPC (2):
G01N 21/65 ,  G01N 21/47
FI (2):
G01N 21/65 ,  G01N 21/47 Z

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