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J-GLOBAL ID：200903014139368157

アルカリ現像用ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor： 土井 宏介 ,  新倉 聡 ,  徳竹 信生 ,  小原 秀克 ,  中山 寿昌
Applicant, Patent owner： 東京応化工業株式会社
Agent (1)： 阿形 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992119571
Publication number (International publication number)：1993289333
Application date： Apr. 14, 1992
Publication date： Nov. 05, 1993
Summary：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性ノボラック樹脂に対し、感光性成分として、一般式【化1】(式中のDの中の少なくとも1個はナフトキノン-1,2-ジアジド-スルホニル基で、残りは水素原子であり、nは0〜7の数である)で表わされる化合物又は、この化合物と一般式【化2】(式中のD′の中の少なくとも1個はナフトキノン-1,2-ジアジド-スルホニル基で、残りは水素原子である)で表わされる化合物を配合したアルカリ現像用感光性樹脂組成物である。【効果】 感光層の厚みの不均一、光源距離の変動によりパターン精度がそこなわれることがなく、忠実度の高い耐熱性パターンを得ることができる。

Claim (excerpt)：

(A)アルカリ可溶性ノボラック型樹脂に対し、感光性成分として(B)一般式【化1】(式中のDの中の少なくとも1個はナフトキノン-1,2-ジアジド-スルホニル基で、残りは水素原子であり、nは0〜7の数である)で表わされる化合物を配合したことを特徴とするアルカリ現像用ポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (2)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027