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J-GLOBAL ID：200903014152940455
マイクロ波プラズマ発生トーチ管
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992157745
Publication number (International publication number)：1994005384
Application date： Jun. 17, 1992
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：
【要約】【目的】ドーナツプラズマを発生させるための二重管構造のマイクロ波プラズマ発生トーチ管において、内管前面平坦部分がプラズマによりスパッターされることを防いで、極微量元素分析装置の感度の向上を図る。【構成】内管前面の平坦部分を後退させることで、プラズマから距離を大きくし、スパッターの程度を小さくした。
Claim (excerpt)：
外管と内管からなり、該内管の先頭部分の外形がカップ状であるマイクロ波プラズマ発生トーチ管において、該内管の先頭部分の前面平坦部分の一部を後退させたことを特徴とするマイクロ波プラズマ発生トーチ管。
IPC (2)：
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