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J-GLOBAL ID：200903014180338981

走査プローブ顕微鏡用カンチレバー

Inventor： 白川部 喜春 ,  高橋 寛 ,  清水 信宏
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997209459
Publication number (International publication number)：1999051947
Application date： Aug. 04, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 カンチレバーの振動時に受ける抵抗を軽減して試料表面形状を正確に測定することができるようにする。【解決手段】 少なくともカンチレバー10が最も大きく振動する部分に貫通孔14を形成することにより、カンチレバー10が使用雰囲気中で振動する際に受ける抵抗が軽減される。さらに、抵抗を軽減するために、この貫通孔14やカンチレバーの外周側壁部にテーパを形成しても良い。

Claim (excerpt)：

先端部に探針が設けられ片持ち支持されたカンチレバーを走査プローブとして試料表面を走査させて試料表面の形状を検出する走査プローブ顕微鏡用カンチレバーにおいて、前記カンチレバーの振動部分に振動時に受ける抵抗を低減する貫通孔が形成されたことを特徴とする走査プローブ顕微鏡用カンチレバー。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 複合顕微鏡の導電性カンチレバ-とホルダ-
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-230487   Applicant：日新電機株式会社
• カンチレバー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-117326   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平4-321954
  
• 特開平4-321954