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J-GLOBAL ID：200903014191747034

高感度力検出のための超小型化ねじれキャンティレバー

Inventor： ミラー,スコット・エイ ,  マクドナルド,ノエル・シー ,  フ,ヤン
Applicant, Patent owner： コーネル・リサーチ・ファンデーション・インコーポレイテッド
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997506821
Publication number (International publication number)：1999515092
Application date： Jul. 19, 1996
Publication date： Dec. 21, 1999
Summary：

【要約】ねじれキャンティレバーを、その共鳴振動数と走査速度を増し、並列走査に供するために多数一列に組立可能にするために、縮小したサイズに超小型化する。キャンティレバーは、高感度力検出のために、チップを組み入れてもよい。装置は、好ましくは、キャンティレバーアームと、装置の外側端に固定された横に伸長しているねじれビームの反対側に搭載されたカウンターバランスを含む。センサーは、キャンティレバーアームの回転を検出し、フィードバックループを通ってセンサー位置決めの制御を提供できる。

Claim (excerpt)：

次のものから成る力センサー。 単結晶シリコン基板、 当該基板から形成されて一体化されたモーメントアームと支持ビームとを含むねじれ据え付けキャンティレバーで、当該キャンティレバーモーメントアームが、当該基板に関して当該支持ビーム周りの運動を測定するために力に応答性があるキャンティレバー、及び、 当該運動を検出するための検出器手段。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01L 1/14

FI (3)：

G01N 37/00 L ,  G01B 21/30 Z ,  G01L 1/14 K