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J-GLOBAL ID：200903014193889871

磁気記録媒体の製造方法

Inventor： 中田 純司
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 柳田 征史 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996270651
Publication number (International publication number)：1998124870
Application date： Oct. 14, 1996
Publication date： May. 15, 1998
Summary：

【要約】【課題】 磁気記録媒体の製造方法において、蒸着効率をさらに向上させることができるとともに、高周波誘導加熱の欠点である熱負け、保存性の低下を低減させることができるようにする。【解決手段】 蒸発容器11を周波数1KHz以上の高周波誘導加熱コイル12および、電子銃30から発せられる電子ビーム31により加熱する。電子ビーム31のうち磁性材料10の湯面で反射したものはベースフイルム3に照射され、電子ビーム31のクーロン力によりフイルム3は冷却キャン4に密着され、蒸着による熱は冷却キャン4に良好に逃されるため、フイルム3の熱負けが防止される。

Claim (excerpt)：

真空雰囲気中で、長尺の可撓性基板を搬送するとともに、前記基板が搬送される経路の下方に配設された磁性材料からなる蒸発源を加熱して、前記磁性材料を蒸発せしめ、前記蒸発源と前記可撓性基板との間に設けた、前記磁性材料の蒸発によって生じる蒸気流の拡散方向を規制制御する蒸気流拡散制御手段中を通過させるとともに、該蒸気流の前記可撓性基板への入射角度を規制する入射角規制手段を設けて、前記蒸気流の指向性を制御しつつ、更に、酸化性ガスを該蒸気流に吹き付けながら、該蒸気流を前記可撓性基板表面に蒸着させて、磁性薄膜を形成せしめる磁気記録媒体の製造方法において、前記蒸発源を、高周波誘導加熱および電子ビームにより加熱蒸発させるとともに、前記磁性材料の蒸発によって生じる蒸気流と、前記酸化性ガスに前記電子ビームを照射し、イオン化させることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (3)：

G11B 5/85 ,  C23C 14/24 ,  H01F 41/20

FI (3)：

G11B 5/85 A ,  C23C 14/24 P ,  H01F 41/20