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J-GLOBAL ID：200903014247123101

プラズマ発生装置

Inventor： 佐藤 武夫
Applicant, Patent owner： 国際電気株式会社
Agent (1)： 三好 祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993193107
Publication number (International publication number)：1995029890
Application date： Jul. 08, 1993
Publication date： Jan. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】構造が簡単で製作費、メンテナンスコストの安価な而もプラズマ密度が均一で且プラズマの拡散が少なく、効率のよいプラズマ発生装置を提供する。【構成】プラズマ発生用コイル26を有するプラズマ発生装置に於いて、プラズマ発生空間を囲繞するプラズマ拡散遮蔽壁31を設け、プラズマ拡散遮蔽壁により囲まれる空間にプラズマを封込め発生させ、プラズマの拡散を防止し、プラズマの発生効率を向上する。

Claim (excerpt)：

プラズマ発生用コイルを有するプラズマ発生装置に於いて、プラズマ発生空間を囲繞するプラズマ拡散遮蔽壁を設けたことを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (5)：

H01L 21/3065 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46