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J-GLOBAL ID：200903014310065753

分光素子アレイ及びこれを備えた分光画像測定装置並びに分光画像測定方法

Inventor：
辻田 和宏

About 辻田 和宏


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (5)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003295364
Publication number (International publication number)：2005062104
Application date： Aug. 19, 2003
Publication date： Mar. 10, 2005
Summary：
【課題】 画素単位での分光が可能になるとともに、小型・簡素な構造で高速の作動が可能となり、スペクトルの時間的変化と空間的な変化とを同時に観測可能な分光素子アレイ及びこれを備えた分光画像測定装置並びに分光画像測定方法を得る。【解決手段】 基板上に回動自在に支持された回折格子を電界印加によって傾斜させ、回折格子の回折面に入射される光を分光する微小電気駆動機械式の分光素子が2次元状に複数配列されてなり、これら分光素子のそれぞれが個別に傾斜角を設定可能にする。分光素子は、回折格子を傾斜駆動するための可動電極と、可動電極に対峙して回折格子の脇部に積層して設けられ、設定する各傾斜角に対応して可動電極と対峙する複数層の固定電極とで構成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基板上に回動自在に支持された回折格子を電界印加によって傾斜させ、該回折格子の回折面に入射される光を分光する微小電気駆動機械式の分光素子が2次元状に複数配列されてなり、これら分光素子のそれぞれが個別に傾斜角を設定可能とされていることを特徴とする分光素子アレイ。
IPC (2)：
G01J3/18 ,  G02B5/18
FI (2)：
G01J3/18 ,  G02B5/18
F-Term (14)：
2G020BA20 ,  2G020CB02 ,  2G020CC04 ,  2G020CC07 ,  2G020CC45 ,  2G020CC55 ,  2G020CD06 ,  2G020CD11 ,  2G020CD24 ,  2G020CD52 ,  2H049AA07 ,  2H049AA58 ,  2H049AA61 ,  2H049AA69
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (2)

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