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J-GLOBAL ID：200903014315094611
ウエハ処理システム
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992311331
Publication number (International publication number)：1994140496
Application date： Oct. 26, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：
【要約】【目的】 ウエハを収納したカセットを運搬する搬送台車の走行通路に沿って複数のウエハ処理装置を並列配置したウエハ処理システムにおいて、メンテナンス作業者と搬送台車とが干渉し合うことをなくし、メンテナンス作業および搬送台車によるカセット搬送を完全に独立して安全かつ能率良く行えるようにする。【構成】 各ウエハ処理装置1,2のカセット受取り部5,15とカセット送り出し部6,16とを、搬送台車走行通路L側に面して配備するとともに、各ウエハ処理装置1,2の処理機構7,17を搬送台車走行通路Lに対して横向きに配備し、かつ、ウエハ処理装置1,2群の搬送台車走行通路と反対側に作業者エリアAを設定する。
Claim (excerpt)：
ウエハを収納したカセットを運搬する搬送台車の走行通路に沿って複数台のウエハ処理装置を並列配置し、各ウエハ処理装置には、未処理ウエハを収納したカセットを搬送台車から受取るカセット受取り部と、処理済みウエハを収納したカセットを搬送台車に送り出すカセット送り出し部と、カセット受取り部のカセットからウエハを取り出して処理機構に供給するとともに処理機構からの処理済みウエハをカセット送り出し部のカセットに格納するウエハ移し替え機構とを装備してあるウエハ処理システムにおいて、各ウエハ処理装置のカセット受取り部とカセット送り出し部とを、搬送台車走行通路側に面して配備し、かつ、ウエハ処理装置群の前記搬送台車走行通路と反対側に作業者エリアを設定してあることを特徴とするウエハ処理システム。
IPC (3)：
H01L 21/68
, B61D 27/00
, B65G 49/07
