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J-GLOBAL ID：200903014316922143
発光素子および発光素子用ウエハならびにその製造方法
Inventor：
,
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
深見 久郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997122378
Publication number (International publication number)：1998114600
Application date： May. 13, 1997
Publication date： May. 06, 1998
Summary：
【要約】【課題】 青色発光輝度のより高い発光素子が提供する。【解決手段】 この発光素子では、GaAs基板(8)の上に窒化ガリウム化合物(9)を形成した後、GaAs基板(8)の少なくとも一部を除去することにより発光素子を形成する。これにより、GaAs基板(8)が除去された分だけ、GaAs基板(8)が全体に形成されている場合に比べて光の吸収量が低減され、それにより、青色発光輝度の高い発光素子が得られる。
Claim (excerpt)：
GaAs基板上に窒化ガリウム化合物を形成する工程と、前記窒化ガリウム化合物を形成した後、前記GaAs基板の少なくとも一部を除去する工程とを備えた、発光素子用ウエハの製造方法。
IPC (4)：
C30B 29/40 502
, H01L 21/205
, H01L 33/00
, H01S 3/18
C30B 29/40 502 F
, H01L 21/205
, H01L 33/00 C
, H01S 3/18
