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J-GLOBAL ID：200903014338969909
反射ミラー型露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994026639
Publication number (International publication number)：1995235476
Application date： Feb. 24, 1994
Publication date： Sep. 05, 1995
Summary：
【要約】【目的】本発明は、架台の姿勢誤差により生じる露光誤差を低減する。【構成】マスク(11)を通過したパターン光を、各ミラー(21,23,24,25) 及び両面ミラー(22)を組合わせた折返し光学系(20)により等倍投影光学系(7) に入射し、かつこの等倍投影光学系(7) からのパターン光を折返し光学系(20)によりマスク(11)の配置された平面と同一平面上に配置されたプレート(12)上に照射する。これにより、マスク(11)とプレート(12)とを同一平面上に配置できるので、これらマスク(11)及びプレート(12)を一体的に移動させれば、架台の姿勢誤差により生じる露光誤差を低減できる。
Claim (excerpt)：
パターンの形成されたマスクを通過したパターン光を凹面鏡及び凸面鏡から形成される投影光学系を通して被処理体上に結像する反射ミラー型露光装置において、前記マスクと前記被処理体とを互いに平行な各平面上にそれぞれ載置するステージと、前記パターン光を前記投影光学系に入射し、かつこの投影光学系からのパターン光を前記被処理体上に照射する折返し光学系と、前記ステージと前記折返し光学系とを相対的に移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする反射ミラー型露光装置。
IPC (3)：
H01L 21/027
, G03B 27/53
, G03F 7/20 521
