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J-GLOBAL ID:200903014339307098

光学装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996155515
Publication number (International publication number):1998002803
Application date: Jun. 17, 1996
Publication date: Jan. 06, 1998
Summary:
【要約】【課題】本発明は、視野全体の温度分布の計測と、微細な観察像を同時に得られる光学装置を提供する。【解決手段】試料21から発する光の光路22上に分岐ミラー23を配置し、この分岐ミラー23により分岐された赤外光を、赤外光撮像素子26に、また、可視光を、撮像素子30にそれぞれ投影する。
Claim (excerpt):
試料と、この試料から発せられる光の光路に設けられ該光路上の光を赤外光と可視光に分岐する分岐手段と、この分岐手段により分岐された赤外光より温度を計測する温度計測手段と、前記分岐手段により分岐された可視光より光学像を観察する観察手段とを具備したことを特徴とする光学装置。
IPC (5):
G01J 5/48 ,  G01J 1/02 ,  G01N 21/84 ,  G02B 5/28 ,  G02B 21/18
FI (5):
G01J 5/48 A ,  G01J 1/02 Q ,  G01N 21/84 E ,  G02B 5/28 ,  G02B 21/18
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭53-008155
  • 特開昭53-008155

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